S5000DX表面粗糙度测量机

X轴（横向）

200mm

精度

Z轴指示精度（纵向）

±(0.2+2| H |/100) mm （±0.206μｍ/ H±6ｍｍ）

测量分辨率

0.31ｎｍ/50ｍｍ测臂

X轴指示精度（横向）

±0.2＋L/1000μｍ　　（±0.4μｍ/L200ｍｍ）

测量分辨率

0.54nm

直线度精度

0.05＋3L/10000μｍ　（0.11μｍ/L200ｍｍ）

测量方式

Z轴（纵向）高稳定倍光路型激光干涉计

X轴（横向）反光分析光尺

粗糙度处理功能
参数或计算类型

JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO1997、ISO1984、DIN1990、ASME1995、符合CNOMO
标准Ra,Rq,Ry,Rp,Pv,Rc,Rz,Rmax,Rt.Rz,J,R3z,Sm,S,R△a,R△q,Rla,Rlq,TILTA.Ir.Pc.Rsk.Rku.
Rk.Rpk.Rvk,Mr1,Mr2,VO,K,tp,Rmr Rmr2,Rdc,AVH,Hmax,Hmin,AREANCRX,R,Rx,AR,NR,CPM,
SR,SAR

评价曲线

剖面曲线、粗糙度曲线、滤波纹度曲线、滤波中心线波纹度曲线、滚动圆波纹度曲线、滚动圆中心线
波纹度曲线、KIN4776特殊曲线、粗糙度中心曲线(Motif)波纹度中心曲线(Motif)、包络波纹度曲线
表面特性图表负荷曲线、功率谱曲线图、振幅分曲线

倾斜补偿

直线补偿、R面补偿、前半补偿、后半补偿、两端补偿、花键曲线补偿（直线、R面、两端补偿可
以在任意范围内）

CUTOFF值

0.008、0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8、25、50mm（9级）任意（0.001-50mm）

纵倍率

50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K、50K、100K、200K、500K、1000K、2000K倍

横倍率

0.1、1、2、5、10、50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K倍

轮廓度处理功能
参数或计算类型

点、直线、部分圆、椭圆、最在点、最小点、距离、坐标着、极坐标差、直交/极坐标差显示、交叉
要素（点-直线、直线-下线、圆-直线、圆-圆、圆-椭圆）、对称要素（点-点、点-圆、点-椭圆、直
线-直线、圆-圆、圆-椭圆、椭圆¬-椭圆）、面积计算、Overpin计算、尺寸线显示功能、计算结果与
设计值比对、镜面反转、形状合成功能、宏功能、自动要素判定、计算点的重复功能、工件轨迹功
能、峰值谷值搜寻功能、自动操作记录.回放功能、形状设计值比对、最佳似合功能、设计值生成、

IGES/DXF转换

基准设定原点设定、X轴设定、平行移动、回转移动

最小测量间距

0.0005~1mm

最大测量点数

最大150,000点

纵倍率

0．01～10,000,000倍（任意、自动）

横倍率

0．01～10,000,000倍（任意、自动）

驱动速度

上下移动速度（Z轴）

0~200mm/s

测量速度（X轴）

0.03~3mm/s（粗糙度测量时） 0.02~20mm/s（轮廓度测量时）

移动速度（X轴）

0.02~60mm/s

上下驱动范围

500mm

驱动部交换式

0.75mN、2mmR半径、金刚石

驱动部交换式

0.75mN、2mmR半径、金刚石