青岛奥林巴斯OLS4100激光共聚焦显微镜

奥林巴斯OLS4100激光共聚焦显微镜

奥林巴斯OLS4100激光共聚焦显微镜广泛应用于半导体／ FPD，电子元件／ MEMS，原材料／ 金属加工等行业。采用了有着高N.A. 的专用物镜和专用光学系统（能*大限度发挥405 nm 激光性能），LEXT OLS4100 可以精确地测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。这有利于粗糙度的测量。
  奥林巴斯OLS4100激光共聚焦显微镜的主要特点：

轻松检测85° 尖锐角

有尖锐角的样品（剃刀）	采用了有着高N.A. 的专用物镜和专用光学系统（能*大限度发挥405 nm 激光性能），LEXT OLS4100 可以精确地测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。这有利于粗糙度的测量。
LEXT 专用物镜	使用专用物镜时的*小象差

高度分辨率10 nm，轻松测量微小轮廓

(MPLAPON50XLEXT)  高度差标准 类型B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 6 nm 高度测量中的检测

由于采用405 nm 的短波长激光和更高数值孔径的物镜，OLS4100 达到了0.12 μm 的平面分辨率。因此，可以对样品的表面进行亚微米的测量。结合高精度的0.8 nm 的光栅读取能力和软件算法，例如奥林巴斯开创的I-Z 曲线（请参阅第23 页），OLS4100 可以分辨出10 nm 的高度差。

克服反射率的差异

钻石电镀工具  物镜：MPLAPON50XLEXT

OLS4100 采用了双共焦系统，结合高灵敏度的探测器，那些具有不同反射率材料的样品，也能在OLS4100 上获得鲜明的影像。

适用于透明层

多层模式 
LEXT OLS4100 全新的多层模式则可以识别多层样品各层上反射光强度的峰值区域，并将各层设为焦点，这样即可实现对透明样品上表面的观察和测量，而且也可以对多层样品的各层进行分析和厚度测量。 

观察／测量透明材料的各个层 
多层模式可实现对透明样品的顶部的透明层进行观察和测量。即使在玻璃基片上覆有一层透明树脂层，也可测量出各层的形状和粗糙度以及表面覆膜的厚度。 

奥林巴斯OLS4100激光共聚焦显微镜更加真实地再现表面, 激光DIC（激光微分干涉）

微分干涉观察是超越了激光显微镜的分辨率、可以观察到纳米以下微小表面轮廓的观察方法。LEXT OLS4100 通过安装在物镜上方的DIC 分光棱镜，将照明光横向分为两束光线来照射样品。获取由样品直接反射回来的两束光线的差，生成明暗对比，从而实现对微小凹凸的立体观察。LEXTOLS4100 拥有DIC 激光模式，即使是低倍率的动态观察，也能得到接近电子显微镜分辨率的影像